場發(fā)射電鏡是電子顯微鏡的一種，是以場發(fā)射電子發(fā)射體發(fā)射電子，并以電子束為光源，在真空狀態(tài)下通過電磁透鏡控制電子束匯集成很小的束斑照射并透過樣品。由于電子的德布羅意波長非常短，可以獲得樣品原子級微觀形貌。其原理是利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數(shù)進行形貌觀察，同時利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來對微區(qū)的成分進行定性定量分析。具有電子束斑小、高分辨率、穩(wěn)定性好等特點。
場發(fā)射電鏡有以下幾種用途：
1.納米材料基本特性分析：對有機、無機、納米材料進行微觀形態(tài)研究，獲得其表面形貌。利用TEM獲得材料整體形貌，由高分辨像獲得晶面間距及以選區(qū)電子衍射像對材料進行物相標定，得知其屬于立方晶系。
2.合金成分分析：反應堆包殼材料特性研究，在合金注入多種金屬元素，通過TEM進行形貌及成分分析，可明顯觀察到合金基體中析出相的不同形貌及分布，通過EDS點掃描分析不同形貌析出相的成分信息。為了解區(qū)域內(nèi)合金各元素的分布情況，可采用面掃描方式進行分析，獲得各元素在合金基體內(nèi)的分布情況。
3.其他用途：碳納米管，石墨SEM形貌觀察；LED熒光填充物進行成分分析；粉末樣品的粒度分析測量；金屬鍍層厚度測量；金屬間化合物觀察與測量；斷口分析等等。
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