掃描電鏡顯微鏡是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學(xué)儀器，被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。如圖1所示，是掃描電子顯微鏡的外觀圖。
掃描電鏡顯微鏡對(duì)掃描樣本的要求，主要包括以下幾個(gè)方面：
1、形貌形態(tài)，必須耐高真空
例如有些含水量很大的細(xì)胞，在真空中很快被抽干水分，細(xì)胞的形態(tài)也發(fā)生了改變，無法對(duì)各類型細(xì)胞進(jìn)行區(qū)分。
2、樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物
油污在電子束作用下容易分解成碳?xì)浠铮瑢?duì)真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w；碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘?hào)產(chǎn)量；碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬饦O大象散；碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y(cè)器晶體表面，降低探測(cè)器效率。對(duì)低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。
3、樣品必須為干燥
水蒸氣會(huì)加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而極大降低燈絲壽命；水蒸氣會(huì)散射電子束，增加電子束能量分散，從而增大色差，降低分辨能力。
4、樣品表面必需導(dǎo)電
在大多數(shù)情況下，初級(jí)電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子必須導(dǎo)入地下，即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負(fù)電勢(shì)不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng)，使圖像畸變，入射電子束減速，此時(shí)樣品如同一個(gè)電子平面鏡。
